L'epsilon 5000 utilise un spectromètre infra rouge industriel (2,5 - 5µm) qui permet le traitement de la mesure sur un spectre complet (meilleure fiabilité), l'appareil utilise une source étendue et des capteurs de distance qui le rendent insensibles aux variations de distance analyseur/support ainsi qu'aux tilts.

L'epsilon 5000 robuste, simple d'utilisation et peut être installé facilement sans perturber la ligne de production, il peut être livré en version ATEX, avec ou sans travelling,

GRANDE DYNAMIQUE

Mesure d'épaisseur de 1à100µm et LOD inferieur à 0,5µm (film fin) et 4 à 5µm (film épais). L'epsilon 5000 permet la mesure de tout type de film (fin ou épais).

MESURE DE DEPOT HUMIDE

L'epsilon 5000 est le seul appareil à permettre une mesure dès l'application du dépôt et avant séchage pour une gestion optimale du process. Ceci est notamment possible car la mesure est insensible aux variations de distance ainsi qu'aux tilts

INSTALLATION AISÉE

L'epsilon peut être installé sans modification de ligne. Il s'adapte à tout travelling existant grâce à un système de têtes interchangeables. Il ne nécessite aucune autorisation préalable (pas de source radioactive). Ne présente aucune contrainte de positionnement (tête/bande)

CALIBRATION

Elle peut être réalisée en ligne ou en post traitement. Elle est transposable et peut être réalisée par séparation finition/primaire/substrat ce qui diminue le nombre de combinaison à faire pour obtenir une calibration représentative.

MESURE ABSOLUE, EN TEMPS RÉEL

Mesure jusqu'à 100 Hz, L'epsilon 5000 utilise une référence qui garantit une véritable mesure en absolue de l'épaisseur. Cette référence se fait en ligne, sans impact sur la mesure (temps inferieur à 7sec). Elle permet une compensation continue des variations extérieures au process.

OUTIL D'OPTIMISATION DE PROCESS

Grâce au temps de réponse très court et à sa possibilité d'être utilisé pour la mesure de dépôt humide, l'epsilon 5000 est un véritable outil d'optimisation du process de dépôt. Il permet entre autres la gestion des transitoires et la gestion des déclassés.

MAINTENANCE RÉDUITE

L'epsilon 5000 ne nécessite aucune maintenance particulière. Les éléments le constituant sont garantis 5 à 10ans.

SÉCURITÉ

Existe en version ATEX

Retour vers > Produits  

24O, rue de Broglie - Les Méridiens - Bât A - 1329O Aix-en-Provence
Tel : +33 (O)4 42 61 29 4O - Fax : +33 (O)4 42 59 32 49